★原理:
把高電壓（High Electric Voltage，> 6000 V）加在特殊設計的電極上，並通入適量的空氣（CDA）以為反應氣體，利用高電壓放電的原理，在電漿機構內產生放電現象，而所通入的反應氣體，則可在此放電現象中產生電漿，並藉由反應氣體的流向，將電漿帶出。我們就可利用此電漿來作相關的反應。
★JET噴射式電漿特點:
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表面清潔的處理速度非常快可高達150~250 mm/sec |
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可處理的面積為Ø 35 mm |
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樣品離電漿出口的距離約為8~12 mm |
★BAR式電漿:
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可以搭配在線式（In-Line）作業 |
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只需使用空氣（CDA）即可 |
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穩定性與清潔效果佳 |
★相關應用:
★基本規格:
