★原理:
把高电压(High Electric Voltage,> 6000 V)加在特殊设计的电极上,并通入适量的空气(CDA)以为反应气体,利用高电压放电的原理,在电浆机构内产生放电现象,而所通入的反应气体,则可在此放电现象中产生电浆,并藉由反应气体的流向,将电浆带出。我们就可利用此电浆来作相关的反应。
★JET喷射式电浆特点:
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表面清洁的处理速度非常快可高达150~250 mm/sec |
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可处理的面积为Ø 35 mm |
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样品离电浆出口的距离约为8~12 mm |
★BAR式电浆:
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可以搭配在线式(In-Line)作业 |
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只需使用空气(CDA)即可 |
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稳定性与清洁效果佳 |
★相关应用:
★基本规格: